| Deguonis |
Ypatingai švarus deguonis yra naudojamas kai kurių metalų oksidavimui (Si, SiO2). Taip pat naudojamas ozono gamybai, kuris reikalingas oksidacijos bei valymo procesams. |
| Azotas |
Azotas yra naudojamas kaip dujos nešėjos siekiant visiškai apsaugoti puslaidininkių ir litavimo procesus nuo priemaišų bei oksidavimosi. Skystas azotas naudojamas kaip vėsinimo agentas aplinkos tyrimų elektroniniuose prietaisuose. |
| Argonas |
Ypatingai švarus argonas yra naudojamas kaip nešančiosios dujos, kaip inertinės dujos apsaugančios puslaidininkius nuo priemaišų (pvz., argonas sukuria aplinką silikono kristalų ir germanio augimui). |
| Angliarūgštė |
Angliarūgštė naudojama kaip aušinimo terpė elektroninių prietaisų aplinkos tyrimams. |
| Vandenilis |
Vandenilis yra naudojamas kaip nešančiosios dujos puslaidininkių procesuose bei kaip absorbuojančios dujos litavimo aplinkoje ir vario sluoksnių atkaitinimui. Formuojančių dujų panaudojimas (tai yra H2 ištirpintas azote) leidžia visiškai pašalinti deguonį aukštų temperatūrų procesuose. |
